中国メディア・東方網は25日、「米国で発明されたフォトレジスト、どうして現在では日本企業が市場を独占しているのか」とする記事を掲載した。

 記事は、半導体の生産過程においてフォトリソグラフィの技術は非常に重要であり、この技術の精度が高まることで、半導体の製造技術も向上すると紹介。また、フォトリソグラフィ技術に付随する設備や材料も近年急速に発展しており、その中でもフォトレジストは特に重要な素材であると伝えた。

 そして、フォトレジストが1950年ごろに米国で発明され、半導体生産に欠かせない材料の1つとなった一方で、「発祥国」である米国は市場を独占することはできず、日本企業が75%前後のシェアを獲得する状況になっているとしたうえで、その経緯を振り返っている。

 まず、フォトレジストと一緒に用いる重要な装置であるステッパー(露光装置)について、キヤノンやニコンといった日本メーカーが80年代以降急速に技術力を高め、米国メーカーを打ち負かしたと説明。ステッパーの発展とともに、日本メーカーのフォトレジストの品質も高まっていったとした。

 次に、ステッパー製造で米国メーカーを抑えてトップに立った日本メーカーが、今度はオランダのASMLによって打ち負かされる事態となったと紹介。一方で、半導体分野では20世紀末ごろよりサプライチェーンの分業化が進み、ASMLはステッパーの生産に注力してフォトレジストには携わらなかったため、フォトレジスト分野ではなおも日本メーカーが独占的地位を保ち続けているのだと伝えている。(編集担当:今関忠馬)